一、電容式壓力變送器和擴(kuò)散硅壓力變送器原理：
1、電容式壓力變送器通過(guò)檢測(cè)中心測(cè)量膜片與兩側(cè)測(cè)量室壁之間的電容變化來(lái)判別膜片受壓位移狀況。可直接測(cè)量中心測(cè)量膜片（被測(cè)壓力直接作用處）的位移。且測(cè)量膜片可以加上巨大的預(yù)應(yīng)張力，使得金屬膜片位移所導(dǎo)致的應(yīng)力影響極小。所以精度較高。
2、擴(kuò)散硅壓力變送器有兩類，其中一類是將擴(kuò)散硅電橋植入到檢測(cè)中心測(cè)量膜片上來(lái)判別膜片受壓位移狀況。另一種擴(kuò)散硅壓力變送器是將測(cè)量膜片感受的力傳導(dǎo)到一個(gè)擴(kuò)散硅傳感器，通過(guò)擴(kuò)散硅傳感器的輸出來(lái)得出被測(cè)壓力。由于壓力不是作用在傳感器上而是加了一次傳遞。
二、電容式壓力變送器和擴(kuò)散硅壓力變送器差異：
電容式壓力變送器：
電容式變送器有一個(gè)可變電容的傳感組件，稱為“δ"室。該傳感器是一個(gè)完全封閉的組件。過(guò)程壓力、差壓通過(guò)隔離膜片和灌充液硅油傳到傳感膜片引起位移，傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉(zhuǎn)換成(4～20)mA的兩線制輸出的電信號(hào)。電子放大電路由解調(diào)器、振蕩器、振蕩控制放大器、電流檢測(cè)器、電流控制放大器、電流限制控制器、基準(zhǔn)電壓、穩(wěn)壓器等組成。
擴(kuò)散硅壓力變送器：
擴(kuò)散硅壓力變送器通過(guò)溫度傳感器把溫度信號(hào)變?yōu)殡娦盘?hào)，再由前置放大器把此電信號(hào)放大濾波，送往CPU的A/D 轉(zhuǎn)換模塊進(jìn)行模擬量到數(shù)字量的變換。最后由CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理并顯示及PWM輸出。
被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于擴(kuò)散硅膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移，正常工作狀態(tài)下，膜片最大位移不大于0.025毫米，電子線路檢測(cè)這一位移量后，即把這一位移量轉(zhuǎn)換成對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)測(cè)量信號(hào)。超壓時(shí)膜片直接貼到堅(jiān)固的陶瓷基體/擴(kuò)散硅上，由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米，因此過(guò)壓時(shí)膜片的最大位移只能是0.1毫米，所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會(huì)產(chǎn)生過(guò)大變形，該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高可靠性。
三、電容式壓力變送器和擴(kuò)散硅壓力變送器：
電容變送器優(yōu)點(diǎn)：
1.可做到極低壓力 2.抗過(guò)載能力強(qiáng) 3.精度高。
擴(kuò)散硅壓力變送器優(yōu)點(diǎn)：
1、穩(wěn)定性高-每年優(yōu)于0.1%滿量程。
2、溫度偏移小-由于取消了測(cè)量元件中的中介液，因而傳感器不僅獲得了很高的測(cè)量精度.
3、可靠性好-采用大規(guī)模IC，電路可靠性好，抗干擾性能強(qiáng)。
4、適用性廣-產(chǎn)品具有多種型號(hào)，多種過(guò)程連接形式，可適應(yīng)工業(yè)測(cè)量中的各種介質(zhì)。
5、安裝維護(hù)簡(jiǎn)便產(chǎn)品結(jié)構(gòu)合理，體積小,重量輕，可直接任意位置安裝。